工業爐
PVA TePla是 真空設備專家，超過二十年的經驗，我們對高溫高壓爐有很豐富的經驗。我們的客戶遍及世界各地，部分機種在全球的市佔率超過五成。我們能生產最高品質、高安全性之高溫爐，最高工作溫度可以達攝氏3000度，我們建造客戶所指定的氣體環境，不論是氯氣、氬 氣、矽甲烷、氮氣等等。
我們能做到：
- 攝氏3000度以下的高溫
- 氣壓200 bar或是真空環境
- 各式氣體搭配
- 快速散熱裝置
- 精準的溫度控制
- 石墨加熱棒或鉬金屬加熱棒
我們提供以下產品：
石墨加熱高壓爐(COD)
石墨加熱高壓爐(COD)可以進行高壓或低壓製程；極限真空為5×10-3mbar， 最高可承受壓力高達100bar。採用雙層低碳鋼爐壁，夾層中建置水冷系統。由於系統使用精確的量測與控制系統，搭配分段的加熱器，可以在工作區域達到± 7°C的溫度均勻性。我們的系統內建微處理器精密的控制流程以確保您產品的再現性與品質的穩定。
應用範圍:
A. 脫蠟
| 1.加壓成型 、粉末注射成型等坯體成型的應用 |
| 2.可調式製程氣體(氬、氫、氮)，氫氣可脫蠟 |
| 3.針對黏合劑的蒸氣壓進行監控，適用於所有傳統黏合劑 (甲基醚、微晶蠟、聚 乙二醇PEG等) |
B. 燒結
| 1.以惰性氣體進行等靜壓燒結(HIP) |
| 2.在可進行高壓燒結或真空燒結 |
| 3.具壓力控制及氣流控制裝置，燒結結束後可進行快速退火 |
C. 適用材料
| 1.粉末冶金材料 |
| 2.硬質合金 |
| 3.工業陶瓷 |
各型號規格:
型號: COD 733 RL |
| 工作壓力: 60/100 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 500x550x3000 /500x475x3000 mm |
| 可用空間: 825/712 L |
| 可裝載重量: 2,500 kg |
| 功率: 700/760 kVA |
型號: COD 733 R |
| 工作壓力: 60/100 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 500x550x1600 /500x475x1600 mm |
| 可用空間: 440/380L |
| 可裝載重量: 1,500 kg |
| 功率: 465/525 kVA |
型號: COD 663 R |
| 工作壓力: 60/100 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 500x550x1000 /500x475x1000 mm |
| 可用空間:275/240 L |
| 可裝載重量: 1,000 kg |
| 功率: 335/415 kVA |
型號: COD 533 R |
| 工作壓力: 60/100 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 300x300x900 /300x260x900 mm |
| 可用空間: 81/70 L |
| 可裝載重量: 300 kg |
| 功率: 190/210 kVA |
型號: COD 033 RL |
| 工作壓力: 100 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 150x100x300 mm |
| 可用空間: 4.5 L |
| 可裝載重量: 30 kg |
| 功率: 50 kVA |
型號: SSH/SSH+(SSH+含氫氣脫蠟裝置) |
| 工作壓力: 60 bar |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 500x540x1500 mm |
| 可用空間: 405 L |
| 可裝載重量: 1,200 kg |
| 功率: 400 kVA |
| 備註:SSH/SSH+為標準型號不提供客製化配置，但價格會相對較低。 |
石墨真空爐(COV)
石墨加熱真空爐(COV)是高效能且彈性很大、應用範圍很廣的爐子。在各個不同的溫度下、搭配不同的製程氣體，可以做到很多種不同的應用。典型的應用領域是燒結（包含脫蠟）、釬焊、脫氣、熱處理、材料純化、CVD鍍膜等。
COV爐特別適合拿來做為清潔石墨材料以及MOCVD托盤的不純物質，適合應用在LED或是半導體、太陽能等對於材料的純度會有一定的要求的長晶產業。
應用範圍:
| 1,100 °C | 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、還原反應 |
| 1,350 °C | 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、燒結、CVD鍍膜 |
| 1,600 °C | 脫蠟、硬金屬燒結、長晶、純化、CVD鍍膜 |
| 1,800 °C | 無氧陶瓷燒接 |
| 2,000 °C | 熱裂解、脫氣、純化、燒結 |
| 2,200 °C | 脫氣、純化、碳化矽燒結、石墨化 |
特點:
| 1.最高工作温度2200℃ |
| 2.可用空間：4.5 － 2250 L |
| 3.根據客戶需求，可配置不同數量的獨立加熱 (最多8 個) |
| 4.在工作區域內，溫度均勻性達±3°C |
| 5.極限真空1 x10-5 mbar |
| 6.對於壓鑄成形、粉末冶金等工件能高效脫蠟 |
| 7.能在可燃性氣體下進行製程 |
| 8.所有資料數據接存放於電腦中以人性化界面呈現 |
| 9.可選擇直立式或是臥式爐 |
各型號規格: (亦可客製化)
型號:COV 1263 R |
| 工作溫度: 2,200 °C |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 1400 x 800 x 2000 mm |
| 可用空間: 2,240 L |
| 功率: 800 kVA |
型號: COV 942 R |
| 工作溫度: 1,800 °C |
| 可用尺寸 (直徑x高): Ø 1500 x 2500 mm |
| 可用空間: 約4,400L |
| 功率: 500 kVA |
型號: COV 633 R |
| 工作溫度: 1,600 °C |
| 可用尺寸 (寬x高x長): 450 x 450 x 900 mm |
| 可用空間:約182 L |
| 功率: 120 kVA |
型號: COV 231 R |
| 工作溫度: 1,600 °C |
| 可用尺寸 (直徑x高): Ø 200 x 300 mm |
| 可用空間: 約9.4 L |
| 功率: 25 kVA |
型號: COV 131 R |
| 工作溫度: 1,600 °C |
| 可用尺寸 (直徑x高): Ø 150 x 250 mm |
| 可用空間: 約4.4 L |
| 功率: 20 kVA |
型號： COV 733R* |
| 1. 可用空間： 約375L |
| 2. 可用尺寸：1,000mx 500mx 750m(長x寬x高) |
| 3. 最大裝料量：約600公斤 |
| 4. 最大可達溫度： 1,700°C |
| 5. 溫差：± 10K |
感應式加熱爐(IOV)
感應型加熱真空爐(IOV)為堅固耐用的真空系統，專門處理特別高溫的製程，每個爐子都能選擇最高1600℃或2200℃的工作溫度。IOV系統的加熱裝 置是採用2~4kHZ的中頻電源供應器、一組加熱線圈和一組石墨底座，在其外層再加上一層石墨氈以隔絕熱能，這樣的設計能降低熱損耗以達到節能的功效。熱 在製程中要求無碳污染，則可以替換底座為難熔金屬；在爐體的長/半徑比也依照加熱區域設計，使感應線圈、加熱器、工作空間得到合理的分配。
另外所有IOV型號皆可改為雙爐系統；雙爐系統即是有兩個完整的爐體，但共用同一個中頻電源供應器與真空馬達，使得價格較高的設備能有更高的使用效率。
應用範圍:
| 1.真空燒結 |
| 2.脫氣製程 |
| 3.石墨化 |
| 4.摻碳製程 |
| 5.還原製程 |
特點:
| 1.最高工作温度2200℃，(可客製化製更高溫度) |
| 2.可用空間：34 ~ 338 L |
| 3.在工作區域內，溫度均勻性達±10°C |
| 4.適用壓力範圍 10-3~1050 mbar |
| 5.爐體為立式 |
金屬加熱真空爐(MOV)
電阻式金屬加熱真空爐(MOV)在我們產品裡面最大的特色就是它的有效工作區域小由0.1L大至1200L都可以製作，適合實驗室以及 大量的工業製造。MOV採用雙層不鏽鋼壁，夾層中安置水冷系統。由於系統使用真空製程，主要能量傳遞會以熱輻射形；系統的隔熱層以多層金屬為材料，也可依 客戶需求採用金屬和石墨毯為保溫結構。
另外MOV-HP可提供一組加壓裝置(上下各一個加壓版)讓系統可以進行特殊的應用，像是diffusion bonding。加壓裝置可提供力量分布均勻性很高的平面加壓，最高力量可達2500KN。
應 用:
| 1.光亮退火和無應力退火 |
| 2.脫氣和潔淨 |
| 3.燒結 |
| 4.退火 |
| 5.真空釬焊或保護性氣體中釬焊 |
特色:
| 1.有效體積0.1~1200L |
| 2.臥式或是直立式爐都有提供 |
| 3.加熱材料為不鏽鋼、鉬、鉭、鎢，依照不同需求做選擇， 溫度最高可達2400°C |
| 4.在工作區域內，溫度均勻 性達±5°C |
| 5. 極限真空 1 x10-6 mbar |
| 6. 洩漏率低於 1 x10-4 mbar |
| 7.低能量損耗，熱能利用率高 |
| 8.所有資料數據皆存放於電腦中以人性化界面呈現 |
適用材料:
| 1. 不鏽鋼 |
| 2. 難熔金屬 |
| 3. 精密合金 |
| 4. 高溫合金或耐熱合金(super alloy) |
各型號規格:
類型: 實驗用爐 |
| 極限真空: 10-6 mbar |
| 可用體積: 0.1~0.66 L |
| 最高工作溫度: 1100~2500 °C |
類型: 臥式爐 |
| 極限真空: 10-6 mbar |
| 可用體積: 8~1200 L |
| 最高工作溫度: 1350 °C |
類型: 直立式上方進料 |
| 極限真空: 10-6 mbar |
| 可用體積: 4.4~10 L |
| 最高工作溫度: 1350 °C |
類型: 直立式下方進料 |
| 極限真空: 10-6 mbar |
| 可用體積: 150~600 L |
| 最高工作溫度: 1350 °C |
類型: MOP-HP |
| 壓力板精度: ≤ 0.1mm |
| 極限真空: 10-6 mbar |
| 最大力量: 2,500 kN |
| 最高工作溫度: 1400 °C (加壓板可工作溫度1200 °C) |
真熔煉鑄造爐(VSG)
真空熔煉鑄造爐(VSG)適用各類金屬、合金與特殊材料，將其溶化至陶瓷或是石墨坩堝中，再倒入模具裡住造成型。
VSG系統是耐腐蝕不銹鋼構成的雙層結構，電源是通過靜態中頻變換系統供應的。其熔煉和鑄造裝置由帶有同軸電源和冷卻電極的線圈和模具台組成。 系統使用的坩鍋的材料可以依照要熔煉的材料來做不同的選配；再熔煉的材料與碳不發生反應的狀況下，可以使用石墨坩鍋。若使用高熔點金屬製成的坩鍋，則坩鍋 可以作為感應電源的次級線圈。
VSG系列真空感應加熱熔煉和澆鑄系統由下列基本模組組成：爐體、空馬達、電源、控制系統、熔煉和鑄造鑄設備。這些模塊可以根據不同 的組合版本提供，並可提供大量可選的附加裝置，去符合客戶的要求。
應用材料:
| 1.貴重金屬 |
| 2.高純度合金 |
| 3.以鐵、鈷、鎳為基底的耐高溫材料 |
| 4.高溫合金或耐熱合金(superalloy) |
| 5.有色金屬 |
| 6.其他特殊材料、太陽能級矽晶材料 |
特點:
| 1.最高工作温度2200℃，(可客製化製更高溫度) |
| 2.可用空間：0.1 ~ 60 L |
| 3.在工作區域內，溫度均勻性達±10°C |
| 4.適用壓力範圍 10-3~1080 mbar |
| 5.自動化控制從熔化到鑄造 的流程 |
| 6.熔化傾注過程中依然可維 持電流滿載 |
| 7.適用於晶柱鑄造、模具鑄 造和精密鑄造 |
| 8.良好的結構彈性，可添購 拆換不同模組，甚至使用多爐系統 |
擴散焊接爐(MOV-HP)
擴散焊接是一種材料結合的連接過程，在高真空與高溫下施加壓力而進行，材料首先加熱到所需的溫度，配合壓力，材料的連接面之間開始緊密接觸，產生擴散現象，晶粒長大，使接縫完全接和，並且中間沒有任何的接和線，過程完全不用焊劑或任何輔助接和的材料。
舉凡如不銹鋼，工具鋼，鋁，鎳超合金，陶瓷，玻璃，銅，以及複合物如鋼-銅，鈦陶瓷和鈦鋼或敏感材料如鈦，鈮和鋯等，都可以使用擴散焊接來相互接和。
擴散焊接的應用繁多，同質材料與異質材料的接和，航太工業的鋁質接和，模具業，熱交換器，半導體等等，都是其可應用的範圍。
擴散焊接的優點：
| 1.過程不用焊劑或其他物質 |
| 2.整個連接過程中沒有液相 |
| 3.高真空環境，敏感材料（Ti，Nb，Zr）也能焊接 |
| 4.極高的強度，接近於基礎材料的強度 |
| 5.耐腐蝕性 |
| 6.視覺上看不見連接線 |
| 7.相似材料的複合材料如不銹鋼，工具鋼（1.2083，M333等），鈦，鋁，鎳超合金，陶瓷，玻璃，銅等 |
| 8.可使用不同材料的複合材料：鋼-銅，鈦陶瓷，鈦鋼等 |
| 9.大面積複合材料，不變形 |
特色:
| 1.壓力板精度: ≤ 0.1mm |
| 2.極限真空: 10-6 mbar |
| 3.最大力量: 2,500 kN |
| 4.最高工作溫度: 1400 °C (加壓板可工作溫度1200 °C) |
| 5.在工作區域內，溫度均勻 性達±5°C |
| 6.極限真空1 x10-6 mbar |
| 7.漏率低於1 x10-4 mbar |
| 8.低能量損耗，熱能利用率高 |
| 9.所有資料數據接存放於電腦中以人性化界面呈現 |
石墨純化爐
石墨材料可用於多種工業級的應用之中，如長晶爐的部件，在極高溫度下的絕緣材料，電流載體系統等，因其具有高耐熱性和耐化學性，因此航空業，航太業，化學工業和核子工程領域中具有廣泛的用途。
為了能夠將石墨用於更高純度的應用環境，如半導體生產，石墨本身必須具備更高的純度。在接近真空或低壓下升溫至最高2400°C的溫度，許多元素（尤其是金屬元素）將形成非常穩定的碳化物，藉助氯和氟，可以無害地在爐中發揮化學反應並且純化石墨。
高純石墨的應用:
- 真空爐和長晶系統的石墨加熱元件
- 真空爐和晶體生長中的絕緣石墨氈
- 用於外延和塗層
COV石墨純化爐適合清潔石墨材料以及MOCVD托盤的不純物質，適合於LED、半導體、太陽能等對於材料的純度會有一定的要求的長晶產業。
應用範圍:
| 1. 1,100 °C 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、還原反應 |
| 2. 1,350 °C 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、燒結、CVD鍍膜 |
| 3. 1,600 °C 脫蠟、硬金屬燒結、長晶、純化、CVD鍍膜 |
| 4. 1,800 °C 無氧陶瓷燒接 |
| 5. 2,000 °C 熱裂解、脫氣、純化、燒結 |
| 6. 2,200 °C 脫氣、純化、碳化矽燒結、石墨化 |
特點:
| 1.最高工作温度2200℃ |
| 2.可用空間：4.5 － 2250 L |
| 3.根據客戶需求，可配置不同數量的獨立加熱(最多8 個) |
| 4.在工作區域內，溫度均勻性達±3°C |
| 5.極限真空1 x10-5 mbar |
| 6.對於壓鑄成形、粉末冶金等工件能高效脫蠟 |
| 7.能在可燃性氣體下進行製程 |
| 8.所有資料數據接存放於電腦中以人性化界面呈現 |
| 9.可選擇直立式或是臥式爐 |
*若有其他規格需求，歡迎 聯繫我們 討論。
SNOL高低溫加熱爐
高溫爐 | 馬弗爐
| 應用：金屬、陶瓷、玻璃 |
| 製程：燒結、回火、焊接、釬焊、熔合 |
| 加熱時間快 |
| 低功耗 |
| 穩定性好± 1°C |
| 抗熱衝擊 |
| 均勻度°”10¢XC |
| 溫度測量9點 |
低溫爐 | 箱式烤爐300 ¢XC
| 製程: 烘乾 |
| OTP和蜂鳴器 |
| 風扇速度控制器 |
| 均勻度± 1 – ±5 °C |
| 溫度測量9點 |
SNOL工業應用
輸送帶烤箱設計用於濕零件乾燥
| 製程: 烘乾 |
| 可調加熱時間 |
| 皮帶速度可調 |
| 加熱區長度：2m |
| 出入口處操作區：1.5m |
| 1名操作員 |
奧迪汽車實驗工作用烤箱
| 雙開門 |
| 不銹鋼室 |
| 加熱時間短 |
| 空氣流通 |
| 進氣口和排氣口 |
| 可調式自動閥 |
